۲-۸-۲ دور سنج تزویج القایی ۲۹
۲-۸-۲-۱ دستگاه غیرفعال ۳۰
۲-۸-۲-۲ دستگاه فعال ۴۱
۲-۹ بحث و بررسی ۴۲
۴۳
مقدمه ۴۳
۴۳
۳-۲ مدل سازی دیافراگم مسطح ۴۵
۳-۳ بررسی ساختار سنسور فشار خازنی ۴۸
۳-۳-۱ حساسیت مکانیکی دیافراگم ۴۹
۳-۳-۲ حساسیت سنسور ۵۰
۳-۳-۳ انتخاب ناحیه کاری برای سنسور فشار چشم ۵۱
( اینجا فقط تکه ای از متن پایان نامه درج شده است. برای خرید متن کامل فایل پایان نامه با فرمت ورد می توانید به سایت feko.ir مراجعه نمایید و کلمه کلیدی مورد نظرتان را جستجو نمایید. )
۳-۴ بررسی ظرفیت خازنی ۵۲
۳-۵ آنالیز خمش یک صفحه نازک ۵۳
۳-۵-۱ بررسی معادلات پایه ای صفحات نازک با جابجایی کوچک ۵۴
۳-۵-۲ بررسی شرایط مرزی ۵۶
۳-۵-۳ جابجایی صفحه نازک تحت فشار خارجی یکنواخت ۵۷
۳-۶ محاسبه ظرفیت خازنی سنسور فشار خازنی ۶۹
۳-۷ آنالیز المان محدود ۷۰
۳-۷-۱ دیافراگم مربعی چهار طرف ثابت ۷۰
۳-۷-۲ دیافراگم مربعی شیاردار ۷۱
۷۳
مقدمه ۷۳
۴-۱ شبیه سازی دیافراگم ۷۳
۴-۱-۱ نتایج ریاضی ۷۴
۴-۱-۲ اثر استرس دیافراگم ۷۴
۴-۱-۳ اثر اندازه دیافراگم ۷۵
۴-۱-۴ اثر ضخامت دیافراگم ۷۵
۴-۱-۵ حساسیت مکانیکی دیافراگم ۷۶
۴-۱-۶ نتایج شبیه سازی المان محدود ۷۸
۴-۲ شبیه سازی ساختار سنسور فشار چشم ۸۶
۴-۲-۱ اثر پارامترهای طراحی بر روی رفتار استاتیکی و دینامیکی سنسور فشار چشم ۸۷
۴-۲-۲ بررسی ولتاژ پولین برای ساختار دیافراگم مربعی ۸۷
۴-۲-۳ ظرفیت خازنی سنسور فشار چشم ۹۰
۴-۲-۴ توزیع استرس بر روی دیافراگم ۹۲
۴-۲-۵ پاسخ فرکانسی سنسور خازنی فشار چشم ۹۳
۴-۳ استفاده از دیافراگم پلی‌سیلیکون جهت افزایش حساسیت سنسور فشار چشم ۹۵
۴-۴ بررسی سنسور فشار چشم با دیافراگم پلی‌سیلیکون شیاردار ۹۹
۴-۵ مقایسه سنسورهای فشار پلی‌سیلیکون و p++si در حالت clamped 102
۴-۶ مقایسه سنسورهای فشار پلی‌سیلیکون و p++si با دیافراگم شیاردار ۱۱۱
۴-۷ مقایسه سنسور فشار خازنی با دیافراگم پلی‌سیلیکون در حالت clamped و شیاردار ۱۱۹
۱۲۸
۵-۱ نتیجه گیری ۱۲۸
۵-۲ پیشنهادات ۱۳۱
۱۳۲
فهرست شکل ها
شکل ۱-۱ شماتیک مقطع عرضی سنسور فشار خازنی ۲
شکل ۱-۲ چگونگی ارتباط واحد جمع آوری اطلاعات و واحد پایگاه داده مرکزی با سنسور کاشته شده ۳
شکل ۲-۱ ساختار سنسور فشار پیزوالکتریک ۱۱
